International Journal of Engineering، جلد ۲۶، شماره ۳، صفحات ۲۹۷-۳۰۲

عنوان فارسی
چکیده فارسی مقاله
کلیدواژه‌های فارسی مقاله

عنوان انگلیسی Analytical Analysis of Capacitive Pressure Sensor with Clamped Diaphragm (RESEARCH NOTE)
چکیده انگلیسی مقاله Abstract In this paper analytical analysis of capacitive pressure sensor with clamped diaphragm is presented. Mechanical and electrical properties of the sensor are theoretically analyzed based on theory of thin plates with small deflection and the results are evaluated by use of finite element analysis. The central deflection and capacitance values under uniform external pressure are calculated. Comparison of theoretical results shows good agreement with finite element analysis. The results indicate that the mathematical model has a high accuracy to determine the sensor behaviors.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله

نویسندگان مقاله mannaneh shahiri |
Department of Electrical Engineering, Islamic Azad University

bahram azizollah Ganji |
Electrical Engineering, Babol University of Technology


نشانی اینترنتی http://www.ije.ir/article_72097_2c12d1c82bea91744407abfe90814401.pdf
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/409/article-409-2062942.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده en
موضوعات مقاله منتشر شده
نوع مقاله منتشر شده
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات