|
|
International Journal of Engineering، جلد ۲۶، شماره ۱۱، صفحات ۱۳۳۱-۱۳۳۶
|
|
|
| عنوان فارسی |
|
|
| چکیده فارسی مقاله |
|
|
| کلیدواژه‌های فارسی مقاله |
|
|
| عنوان انگلیسی |
Modeling of capacitance and sensitivity of a MEMS pressure sensor |
|
| چکیده انگلیسی مقاله |
In this paper modeling of capacitance and sensitivity for MEMS capacitive pressure sensor is presented. In capacitive sensor the sensitivity is proportional to deflection and capacitance changes versus pressure. Therefore first the diaphragm displacement, capacitance and sensitivity of sensor with square diaphragm have been modeled and then simulated using finite element method (FEM). It can be seen that the analytical results are very agreement with simulation. The results also show that the high sensitivity can be achieaved by decreasing the diaphragm thickness and increasing the diaphragm size. |
|
| کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله |
MEMS, Modeling, Displacement, Capacitance, Sensitivity |
|
| نویسندگان مقاله |
Mojtaba Shams Nateri |
Electrical Engineering, Babol University of Technology
bahram azizollah Ganji |
Electrical Engineering, Babol University of Technology
|
|
| نشانی اینترنتی |
http://www.ije.ir/article_72203_b9ebd08cc487f5db53abaad83ba02e49.pdf |
| فایل مقاله |
اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/409/article-409-2062831.pdf |
| کد مقاله (doi) |
|
| زبان مقاله منتشر شده |
en |
| موضوعات مقاله منتشر شده |
|
| نوع مقاله منتشر شده |
|
|
|
|
برگشت به:
صفحه اول پایگاه |
نسخه مرتبط |
نشریه مرتبط |
فهرست نشریات
|