|
|
فیزیک کاربردی، جلد ۶، شماره ۱، صفحات ۷-۲۵
|
|
|
| عنوان فارسی |
شبیه سازی و مطالعه ی اثر دمای چشمه در لایه نشانی نانو فیلم های طلا به روش تبخیر حرارتی با استفاده از نرم افزار COMSOL Multiphysics |
|
| چکیده فارسی مقاله |
در این مقاله، فرآیند لایه نشانی فیلم های نازک طلا، به کمک روش تبخیر حرارتی شبیه سازی شد. برای این منظور از نرم افزار COMSOL Multiphysics استفاده گردید. مدل سه بعدی در محیط نرم افزار ایجاد شده و هندسه، تحلیل مش ها، شرایط مرزی و روابط مورد نیاز معرفی و مورد مطالعه قرار گرفتند. ضخامت، چگالی، شار گرما، فشار و سایر پارامتر های مرتبط با لایه نشانی مورد بررسی قرار گرفتند. با استفاده از رگرسیون صفحه ای، معادله ی سطوح نانو فیلم های طلا محاسبه و اثر دمای چشمه بر رشد فیلم های نازک طلا بررسی گردید. نتایج نشان داد که بین ضخامت فیلم نازک و دمای چشمه رابطه ی مستقیم وجود دارد. با استفاده از برازش غیر خطی مدلی برای وابستگی ضخامت فیلم نازک به دمای چشمه ارائه گردید. با مقایسه نتایج بدست آمده از شبیه سازی ها در این کار برای ضخامت و انحنای سطح فیلم های نازک طلا با رفتار مورد انتظار از توزیع جرم روی زیرلایه، تطابق بین مقادیر شبیه سازی شده و این رفتار مشاهده گردید. |
|
| کلیدواژه‌های فارسی مقاله |
تبخیر حرارتی، فیلم نازک، شبیه سازی، |
|
| عنوان انگلیسی |
Simulation and Study of Source temperature effect in gold thin films growth prepared via evaporation method using COMSOL Multiphysics |
|
| چکیده انگلیسی مقاله |
In the present work, gold thin films growth process using the evaporation method has been simulated. For this purpose, the COMSOL Multiphysics 5.0 simulator software was used. Three-dimensional models were constructed and geometry, mesh analysis, boundary conditions and related relations were defined and studied. Film thickness, density, heat flux and other related parameter to deposition were investigated. Using planar regression, surface equation of the gold thin films was calculated and the effect of the temperature of gold source on thickness of films was investigated. Results showed that there is a correlation between the temperature of source and the thickness of gold films. Using non-linear regression, a model was represented in order to describe the dependency of film thickness on source temperature. Comparing the simulation results in this paper for thickness and curvature of gold thin films with expected behavior distribution on substrate, a promising accommodation between the simulated data and this trend was observed. |
|
| کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله |
Evaporation, Thin Film, Simulation |
|
| نویسندگان مقاله |
محمد حسین احسانی | mohammad hossein
هیات علمی
مجمود جلالی مهر آباد | jalai mehrabad
کارشناس
عباس حوادیان | حوادیان
هیات علمی دانشگاه سمنان
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه سمنان (Semnan university)
|
|
| نشانی اینترنتی |
http://jap.alzahra.ac.ir/article_2593_516.html |
| فایل مقاله |
اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/1036/article-1036-315426.pdf |
| کد مقاله (doi) |
|
| زبان مقاله منتشر شده |
fa |
| موضوعات مقاله منتشر شده |
|
| نوع مقاله منتشر شده |
|
|
|
|
برگشت به:
صفحه اول پایگاه |
نسخه مرتبط |
نشریه مرتبط |
فهرست نشریات
|