این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
پژوهش فیزیک ایران، جلد ۱۱، شماره ۱، صفحات ۵۵-۶۱
عنوان فارسی استفاده از روش جذب تشدیدی برای اندازه‌گیری چگالی اتم‌های مس در لایه نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی
چکیده فارسی مقاله در این مقاله چگالی اتم‌های مس که به عنوان هدف انتخاب شده است با روش طیف نگاری جذبی تشدیدی برای فشارهای مختلف گاز کاری و توان‌های مختلف منبع تغذیه سیستم پلاسما اندازه‌گیری شده است. به عنوان منبع نور برای طیف نگاری جذبی تشدیدی از یک لامپ کاتد توخالی مس (Cu hollow cathode lamp) استفاده شده است. ضمنا با اضافه کردن درصد مناسبی از نیتروژن به گاز کاری آرگون با استفاده از طیف دورانی مولکول نیتروژن و با بهره‌گیری از یک برنامه کامپیوتری مناسب دمای گاز به دست آمده است.
کلیدواژه‌های فارسی مقاله اسپکتروسکوپی جذبی تشدیدی، کند و پاش پلاسمایی
عنوان انگلیسی The usage of resonance optical absorption method for measurement of Cu atoms during the plasma sputtering deposition
چکیده انگلیسی مقاله In this paper, the resonance optical absorption method, is used to measure the Cu atoms number density in different power levels of power supply. Atoms are sputtered from a Cu target during plasma magnetron sputtering deposition. For the light source, a commercial Cu hollow cathode lamp is used. For measurement of gas temperature, a small percentage of N2 is added to the gas mixture and the gas temperature is found by optical emission technique.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله resonance optical absorption, plasma sputtering
نویسندگان مقاله حمید نقش آرا | h naghshara
tabriz university
دانشگاه تبریز
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تبریز (Tabriz university)

صمد سبحانیان | s sobhanian
tabriz university
دانشگاه تبریز
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تبریز (Tabriz university)

نادر صادقی | n sadeghi
universite joseph fourier-grenoble
دانشگاه گرونوبل فرانسه

نشانی اینترنتی http://ijpr.iut.ac.ir/browse.php?a_code=A-10-1-513&slc_lang=fa&sid=fa
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/1342/article-1342-236057.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده تخصصی
نوع مقاله منتشر شده پژوهشی
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات