این سایت در حال حاضر پشتیبانی نمی شود و امکان دارد داده های نشریات بروز نباشند
پژوهش فیزیک ایران، جلد ۱۱، شماره ۱، صفحات ۱۵-۲۵
عنوان فارسی اندازه‌گیری ضخامت و زبری لایه‌های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی
چکیده فارسی مقاله بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه‌گیری میزان جابه‌جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می‌آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت‌های کم و کاهش خطاهای اندازه‌گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می‌شود. با اندازه‌گیری میزان جابه‌جایی فریزهای تداخلی، امکان اندازه‌گیری ضخامت لایه‌های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می‌شود. همچنین با بهره‌گیری از جابه‌جایی نمودار شدت و استفاده از اعوجاج‌های موجود در نمودار شدت فریزهای تداخلی، زبری سطح نمونه با دقت 2 نانومتر اندازه‌گیری می‌شود. نتایج مقایسه هر دو اندازه‌گیری با روش‌های سنجش مستقیم، حاکی از صحت روش پیشنهاد شده است.
کلیدواژه‌های فارسی مقاله لایه‌های نانومتری، ضخامت لایه‌های نازک، زبری سطوح شفاف
عنوان انگلیسی Thickness and roughness measurements of nano thin films by interference
چکیده انگلیسی مقاله In the standard optical interference fringes approach, by measuring shift of the interference fringes due to step edge of thin film on substrate, thickness of the layer has already been measured. In order to improve the measurement precision of this popular method, the interference fringes intensity curve was extracted and analyzed before and after the step preparation. By this method, one can measure a few nanometers films thickness. In addition, using the interference fringes intensity curve and its fluctuations, the roughness of surface is measured within a few nanometers accuracy. Comparison of our results with some direct methods of thickness and roughness measurements, i.e. using surface profilemeter and atomic force microscopy confirms the accuracy of the suggested improvements.
کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله
نویسندگان مقاله امیر سبزعلی پور | a sabzalipour
university of tehran
دانشگاه تهران
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

محمدرضا محمدی زاده | mh mohammadizadeh
university of tehran
دانشگاه تهران
سازمان اصلی تایید شده: دانشگاه تهران (Tehran university)

نشانی اینترنتی http://ijpr.iut.ac.ir/browse.php?a_code=A-10-1-508&slc_lang=fa&sid=fa
فایل مقاله اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/1342/article-1342-236053.pdf
کد مقاله (doi)
زبان مقاله منتشر شده fa
موضوعات مقاله منتشر شده تخصصی
نوع مقاله منتشر شده پژوهشی
برگشت به: صفحه اول پایگاه   |   نسخه مرتبط   |   نشریه مرتبط   |   فهرست نشریات