|
|
International Journal of Engineering، جلد ۲۳، شماره ۳، صفحات ۱۹۱-۲۰۰
|
|
|
| عنوان فارسی |
|
|
| چکیده فارسی مقاله |
|
|
| کلیدواژه‌های فارسی مقاله |
|
|
| عنوان انگلیسی |
Fabrication of a Novel MEMS Capacitive Microphone using Lateral Slotted Diaphragm |
|
| چکیده انگلیسی مقاله |
external amplifier was able to detect the sound waves from microphone on speaker and oscilloscope. The maximum amplitude of output speech signal of amplifier is 45 mV, and the maximum output of MEMS microphone is 1.125 µV. |
|
| کلیدواژه‌های انگلیسی مقاله |
MEMS, Microphone, Lateral slots, Diaphragm stiffness |
|
| نویسندگان مقاله |
Bahram Azizollah Ganji |
Electrical Engineering, Babol University of Technology
|
|
| نشانی اینترنتی |
http://www.ije.ir/article_71856_e8a71864557e41de20df5091667e6199.pdf |
| فایل مقاله |
اشکال در دسترسی به فایل - ./files/site1/rds_journals/409/article-409-2422098.pdf |
| کد مقاله (doi) |
|
| زبان مقاله منتشر شده |
en |
| موضوعات مقاله منتشر شده |
|
| نوع مقاله منتشر شده |
|
|
|
|
برگشت به:
صفحه اول پایگاه |
نسخه مرتبط |
نشریه مرتبط |
فهرست نشریات
|